单室磁控溅射系统
发布时间：2020-12-24
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仪器照片 |
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仪器名称 | 单室磁控溅射系统 |
型 号 | JGP-560型 |
规 格 | ≤6.67X10-5 Pa,5靶，3气路 |
主要功能 | 溅射多层和单层金属和化合物薄膜 |
生产厂家 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 |
购置日期 | 2017年12月 |
价 格 | 420000元(人民币) |
放置地点 | 理科2号楼 C106 |
负 责 人 | 甄聪棉 |
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